一种炉膛温场测量装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9066362

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梯度炉广泛应用于晶体生长,金属合金制备等工业领域,以及半导体光电子材料、 特殊功能晶体、金属合金、复合材料和非晶材料的实验室制备研宄。梯度炉的温场分布是梯 度炉的重要性能指标,关系到材料生长工艺曲线的制定以及生长工艺过程的控制,对生长 高质量单晶、多晶和金属合晶等具有重要意义,同时也是进行高精度材料实验,获得高价值 实验结果的先决条件。对于管状炉膛,温场分布的测量主要包括轴向温度梯度测量和径向 温度梯度测量。 目前常用的测量方式是位移法。位移法涉及的测量...
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