一种在腔体外控制阴极移动的等离子体电弧炉的制作方法技术资料下载

技术编号:9072249

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等离子体电弧炉是制备纳米颗粒的核心设备,通过阴极与阳极在氩气、氮气、氢气、乙醇气体条件下,将气体电离产生气体等离子体,等离子体产生的高温使阳极金属熔化,恪化的阳极被蒸发形成金属气体,这些金属气体在电弧炉水冷内壁上凝结成纳米颗粒,并聚集制备得到各种类型的金属纳米颗粒。在制备过程中,阴极需要与蒸发的阳极中心对准,当阳极不断熔化蒸发时,阳极形状发生变化,导致阴极与阳极间距离不断变化,等离子体电弧也不断改变位置与形状,为保证电弧在阳极靶材的正中心,使阳极稳定蒸发,...
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