一种集成的硅电容麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:9080772

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微机电(MEMS,micro-electro-mechanical system)麦克风或称娃麦克风因其体积小、适于表面贴装等优点而被广泛用于平板电子装置的声音采集,例如手机、MP3、录音笔和监听器材等。为满足人民群众日益增长的物质文化需求,硅麦克风的体积、成本、信噪比、使用寿命等指标也在不断地优化提高。其中,为提高硅麦克风的使用寿命,尤其需要对硅麦克风进行防水、防尘、防潮、防强光处理。—般来说,娃麦克风的外壳和基板本身天然就是防水、防尘、防潮、防强光的,...
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