技术编号:9080773
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的声电换能器,其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、薄型化发展,MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。MEMS麦克风产品中包含一个基于电容检测的MEMS芯片和一个ASIC芯片,MEMS芯片的电容会随着输入声音信号的不同产生相应的变化,再利用ASIC芯片对变化的电容信号进行处理和输出从而实现对声音的拾取。MEMS芯片通常包括具有背腔的基底、在基底上方设置的由背极板和振膜构成的平行板电...
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