技术编号:9080844
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子技术、微波技术和 等离子体技术于一体的高新技术,它是随着MEMS技术的发展而发展起来的。微等离子体包 括直流微等离子体、射频微等离子体和微波微等离子体。当放电空间进一步减小到纳米尺 寸时,就成为纳等离子体。由于微电子机械系统(MEMS)具有低损耗、高隔离、体积小、制造 成本低、易与IC、MMIC电路集成等特点,通过MEMS工艺可以实现微波等离子体的小功率封 装和有源集成。因此将微波等离子体结合MEMS...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。