技术编号:9085180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在玻璃板材生产过程中,需要向玻璃板材表面镀上功能膜,传统的做法是通过溅射手段将膜附着在玻璃板材表面的。参见图1,沿着玻璃的运输方向(箭头方向),传统的溅射腔体包括进口室10、缓冲室20、过渡室30、溅射室40、过渡室30、缓冲室20和出口室50,各室之间通过密封门60隔开,同时各室连接有抽气栗70,缓冲室20和过渡室30的作用是逐步抽取空气,使溅射室形成真空环境。传统的缓冲室(过渡室)约为3立方米,长度约为3.6米,因此无法对长度超过3.6米的大尺寸low...
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