技术编号：9093789
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理，将胶液均匀甩开，平铺到材料表面的机械装置，应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域。匀胶时，光刻胶的干燥速度不仅取决于光刻胶的自身性质(挥发性)，而且取决于匀胶过程中基片周围的空气状况，因此，减小基片上面空气的流动以及因空气流动引起的紊乱是非常重要的，匀胶过程中，在光刻胶被甩向基片边缘的同时，由于溶剂挥发，光刻胶得以干燥，造成光刻胶膜厚沿径向分布不均匀，而通过调整光刻胶的干燥速度可使整个基片表面光...
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