技术编号：9095952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于等离子体化学气相沉积领域，具体涉及一种生长碳纳米管的等离子体气相沉积系统。背景技术目前用作高功率微波管的电子源主要是传统热阴极，热阴极需要加热至一定温度才能工作，因而热阴极具有预热延迟以及无法快速响应等缺点。相比热阴极而言，场发射冷阴极因为具有室温工作以及快速响应的优点正在逐渐取代传统的热阴极。碳纳米管自发现以来，其优异独特的场发射特性得到广泛的研究。碳纳米管阵列具有大电流密度、低开启电压、快速响应等良好的场发射特性，碳纳米管是一种作为场发射...
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