技术编号：91041
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于压力测量技术领域。流体传感器是利用半导体材料硅的压阻效应，将流体压力信号转为电信号。这种流体传感器主要由两部分组成。一是半导体力敏元件、二是腔体。目前已有半导体力敏元件是在硅杯弹性膜上直接集成一个电桥电路，其集成电桥版图设计方案有两种。一种是如US4065971、US4050313将力敏电桥分组分布在硅杯弹性膜的边缘、这种方案的优点是输出大，可以从四组中优选一组好的，缺点是硅杯大。另一种设计方案是将四个力敏电阻分布同一晶向上，只利用硅弹性膜的径向正负应力区靠正负应力差提高电桥输出。其优点是硅弹性膜面积小，...
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