技术编号：9105866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在常规的直写式曝光设备中，扫描台不具备升降功能，在曝光不同厚度的PCB板时，需要制作不同厚度的精密垫板，将垫板垫在扫描台面上，以满足这样即浪费制作成本，也浪费操作时间。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，该扫描台的扫描台面可升降。本实用新型进一步要解决的技术问题是提供一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，该扫描台在原驱动力不变的情况下，提高扫描台面的额定载重量。本实用新型更进一步要解决的技术问题是提供一种...
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