一种高真空扩散泵装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9118698

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扩散栗是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散栗是一种次级栗,它需要机械栗作为前级栗。扩散栗中的油在真空中加热到沸腾温度(约为250度)产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散栗进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样,被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动,气体分子碰到栗壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向栗壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩,最后...
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