一种用于x荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9123994

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多元素同时测量型X荧光光谱仪(以下简称同定型WDXRFS)的真空测量室周边安装了若干个固定元素道分光装置。每个采用平面晶体(以下简称平晶)的元素道分光装置,由入射准直器组件、与入射准直器组件尾部连接的分光盒组件、与分光盒组件连接的出射准直器组件组成。被X光管的X射线照射后样品中的不同元素发出各自的特征X射线,其波长互不相同。参见图1所示,这些X射线通过一次准直器管端部的狭缝和管内通道以Θ角投射到分光盒组件内的分光晶体表面上,其中只有波长λ符合Bragg公式...
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