技术编号:9134359
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。传统的镀膜工艺室根据镀膜材质的不同和工艺性能的不同分成了若干个真空腔室16,玻璃原片在真空腔室16中移动,来实现镀膜工艺的完成。由于真空腔室内各隔板上开有玻璃原片通过的通道口和由破真空阀控制开关的进气口 14,实际上各真空腔室16是互相贯通的,即工艺室内为一个整体的真空腔室。与真空腔室16连通的上腔体13内设有分子栗15,在现实生产过程中,若需更换一个上腔体13内的靶材,或定期清除一段真空腔室16的隔板上的溅射靶材,都需让所有的真空腔室16都破真空,然后才...
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