技术编号：9134531
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，化学气相沉积(CVD)法用在小孔径工件上的涂层受到广泛关注。目前常用的技术主要是热丝法，将加热丝穿入工件内孔，通过被分解等离子体的自由运动到达工件表面，在适合的温度条件下形成金刚石涂层。但是这一技术需要将加热的电阻丝穿过工件内孔，因此无法适用于微小孔径或者狭长内孔的工件，目前这种穿丝的方式只能做到1.2mm以上的孔径涂层，无法实现更小孔径及狭长内孔的工件涂层。专利文献CN203411607U公开了一种微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其采用的是一种非穿...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。