技术编号：9136184
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着工业的发展，人们对生产的洁净度要求越来越高，特别是半导体器件生产，化工药物等；纯净度要求非常高，因此需要对加工空间进行抽真空处理。目前的抽真空方式为直接用真空栗进行抽真空并对外排气，然而直接对外排气会造成污染，污染环境，其次真空栗在抽真空时，粉尘等颗粒物质容易进入，造成对真空栗的损伤。实用新型内容本实用新型的目的在于解决现有技术的不足，提供一种洁净式真空系统，该真空系统可以避开污染，达到洁净式的抽真空；同时起到保护真空栗的效果。为达到上述目的，本实用新...
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