扩展光源干涉测量准直系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9139801

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干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明,这个现象是由于两束或多束光的重叠,使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一,已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中,现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源,而激光器具有极强的时间和空间相干性,因此,在干涉检测过程中,并不需要考虑干涉腔长的限制,就可以使干涉条纹具有良好的对比度,并且随着电子与计算机技术的发展,产生的位相干涉检测技术,使测量...
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