技术编号:9141174
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在高能离子注入机晶圆传送的时候,真空机械手臂会起到重要的作用,但是在现有的机台设计当中,真空机械手臂的马达没有断电锁止功能,也就是说在马达供电突然中断的时候,控制真空机械手臂运动的马达转子不会锁死(除非马达再次通电并且清除掉错误信息),会在压力差或者是自身重力的作用下移动,此时就可能会造成真空机械手臂撞击机台内壁的情况发生,当真空机械手臂正在传送晶圆的时候,晶圆就有掉落甚至是撞碎的危险。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有断电锁止功能的用...
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