技术编号：9150156
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在超精密测量领域中，激光干涉测量技术以其非接触、精度高、可溯源等优点成为超精密测量的有效技术手段，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等静态几何量的精密测量场合。基于激光干涉测量技术的测量仪器很多(例如激光干涉仪、激光跟踪仪)，均需要反射棱镜的配合，对于具有跟踪功能的跟踪仪的反射镜一般采用球形反射器，其形心与光心重合。激光跟踪仪在测量过程中需要靶球的配合，若实时跟踪某一点的运动，还需要将磁性球座吸附在所关注的位置，然后将靶球吸附在球座的定位凹槽...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。