技术编号:9156063
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅单晶片是一种重要的半导体材料,单晶硅片的生产首先要通过单晶炉生产单晶棒,单晶硅棒在生产过程中需要掺入杂质原料,特别是生产重掺单晶硅片需要掺入的杂质更多。在高温的环境下,掺杂剂磷等大量挥发,通过真空栗的抽空将挥发物抽入管道,再经管道进入过滤器。单晶炉在停炉后炉内抽出的挥发物杂质温度急剧下降,在抽空管道和过滤器内大量堆积。积存在管道和过滤器的杂质中含有大量的磷,由于磷的易燃易爆特性,挥发物堆积到一定程度后,在清扫管道和过滤器时挥发物中的磷与氧发生剧烈的氧化反...
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