一种基于mems的可调红外滤波器的制造方法技术资料下载

技术编号:9163547

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

红外可调滤波器在光通信、光谱学与光谱成像、激光测距与测速、生物医学等领域有重要的应用。在近红外波段(波长0.7-2.5um),激光系统被广泛应用于通信、激光精密测量等领域。而在中红外波段(波长0.25~25um),由于生物体与气体的本征吸收或者振动大多处于该波段,因此中红外光谱学常常被用于生物医药与气体传感领域。远红外波段(波长40~3000um,长波已经与毫米波、微波重叠)则是一个新兴学科,也经常被称为太赫兹(THz)波,在超宽带光通信、安防、时域光谱等...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学