技术编号：9182268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硅单晶直拉炉正常运行期间，是从炉子上端通入氩气，从炉子下端抽走硅料及掺杂剂在1500度高温状态下挥发的废气，炉内一直处于氩气保护状态，工作压力稳定在15Torr左右的真空状态下，保护炉内的石墨加热器及各种石墨器件和硅料等不因接触外界空气而发生氧化。这一工作状态，要靠真空栗联系不断的工作来保证该条件的实现，每一炉次处于连续的加热状态的时间要在平均要在60个小时左右，真空栗栗油里会渗入大量的挥发物，拉制2-3炉次后，真空栗栗油性能会明显下降，变得粘稠，需要更换...
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