技术编号：9185796
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及燃气计量装置领域，特别是一种MEMS流量计流道结构。背景技术随着天然气等清洁、高效能源的飞速发展，天然气正在进入千家万户，越来越多的城镇居民开始使用天然气，而天然气用量的计量结算是天然气使用的必需步骤，目前使用的家用燃气表基本是基于容积式原理的皮膜表，该表是输入机械式表，靠里面的皮膜的震动运动进行计量，计量精度有限，而且皮膜在天然气里面的水、油和灰尘的影响下，会逐渐老化，因此计量精度会逐渐变差，且皮膜表受本身原理限制，不能进行小型化。除机械传...
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