技术编号：9185998
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS传感器作为一种新型传感器技术，成本显著减低，2014年硅基MEMS器件市场规模达到1100多亿美元；随着智能手机、平板电脑、可穿戴设备的兴起，以及较为成熟的汽车电子和工业控制领域的巨大市场需求，MEMS产业发展进入快车道，其中，MEMS压力传感器是应用最为广泛的传感器之一。压力传感器从技术原理上主要分为压阻式，电容式，应变式等，种类分为陶瓷压力传感器、MEMS压力传感器、微溶压力传感器、应变压力传感器、溅射膜压力传感器等，MEMS压力传感器凭借其尺...
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