一种薄膜气体传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9186225

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随着当今社会工业化的发展,空气污染的问题日渐突出,温室效应、酸雨、臭氧层的破坏等问题已经迫在眉睫,而解决这些问题的关键是迅速准确地检测到这些有毒的、有污染的气体物质,另外,在家居安全、矿井作业、火灾报警等方面气体检测也非常重要,为气敏传感器发展提供了的客观条件。基于薄膜的气体传感器由于成本低、检测装置简单而是被重点发展的一类气体传感器。它将薄膜所吸附的气体种类和浓度转换为电信号,根据这些电信号的强弱就可以获得相关待测气体的信息,从而可以实现检测、监控和报警...
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