技术编号：9186349
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电浆设备是一种用于清洁玻璃基板上的有机物的设备，该电浆设备主要由一输送机构、一排气机构及一控制器所组成，其中，该输送机构用于输送一玻璃基板；该排气机构搭接于该输送机构上方，使该玻璃基板通过该排气机构下方时，该排气机构可进一步吸出附着于该玻璃基板上的有机物。但是，电浆设备清洁玻璃基板上的有机物污染时，必须注入氮气(N2)与干燥空气(CDA)，于化学反应过程中会产生二氧化碳(CO2)及臭氧(O3)，若臭氧浓度过高或过低，该玻璃基板的不良率亦相对提高，因此业者必...
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