技术编号:9198333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在DPS 金属刻蚀机台(DPS metal tool, DPSdecouple plasma source 去稱等离子体源)中,通过主反应腔来蚀刻铝等金属,通过副反应腔来去除光阻,制程中需要用到的水蒸气,是由该机台设置的一种将去离子水(DIW)转化成水蒸气的VDS系统(VDS,vapordelivery system蒸汽输送系统)提供。如图1所示,去离子水输送至VDS系统之前,从厂务端通过输入管道进入(例如12微米的)过滤器1,之后设置的三通阀2根据压缩干...
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