技术编号：9198838
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 用于位移测量的装置，在机械加工业中有广泛的应用。目前，精密位移测量装置 大多是一维的，公知的用来精密测量物体的移动的工具包括光栅尺、磁栅尺、球栅尺等，这 些都是测量一个方向上位移的，而在实际应用中被测点的位移大多产生在两个方向上，利 用它们也可以构成测量平面位置的系统。但是，在某些比较特殊的领域，比如半导体工业测 量，测量显微镜，要求测量系统体积相对较小，移动方便等。公知的一种二维位移测量装置 所用测量光栅为等宽、等间隔光栅，其衍射光分析相对复杂，信号处...
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