技术编号：9198974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅微压力传感器，特别涉及一种抑制同频干扰的硅谐振压力传感器结构。背景技术硅谐振压力传感器是精度和稳定性最好的压力传感器之一，其利用内部机械结构的谐振频率随外界压力变化而变化的原理进行压力测量，其输出为频率，为准数字量，适合长距离传输；抗干扰能力强。利用硅材料良好的机械性能，这种传感器的精度和年稳定性最高都可以达到0.01% FS。由于传感器中的谐振器其振幅和体积比较小，在传感器工作时检测信号比较小；并且由于驱动电极和检测电极距离比较小导致驱动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。