技术编号：9199603
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于光学相位延迟器，更具体地，涉及一种复合波片相位延迟器 优化设计方法。背景技术 椭圆偏振测量技术是研宄两媒质间界面或者薄膜中发生的现象及其特性的一种 光学方法，其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换，包括 相位差和振幅比。椭圆偏振仪（简称椭偏仪）是利用椭圆偏振测量技术发展起来的通用光 学测量仪器。其基本原理是通过起偏器将特殊的椭圆偏振光投射到待测样品表面，通过测 量待测样品的反射光（或者透射光），以获得偏振光在反射（或者透...
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