技术编号:9201687
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。已经开发了用于不同目的各种退火方法(均温退火、尖峰退火、毫秒退火等)。然而,所有这些方法均有其缺点。对于优势的技术而言,重点不仅在于对热量的控制,还在于对腔室环境的管理。现有的退火方法在处理期间都具有存在于工艺腔室内的气体(02、队或其他气体)。因此,环境控制和微粒问题的出现将不利的影响退火工艺。对于亚秒退火或毫秒退火而言,在非常短的时间内释放大量热能将引起严重的湍流(turbulence),其将在晶圆表面上产生积累的微粒。考虑到环境控制,氧敏感的工艺通常...
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