半导体装置及其制造方法技术资料下载

技术编号:9201852

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氮化物半导体装置由于氮化物半导体的材料特性优越,因此作为能够兼顾晶体管的耐压的提高和导通电阻的降低的半导体装置而受到期待。例如,具有GaN(氮化镓)层与AlGaN(氮化铝镓)层的异质界面的场效应型晶体管受到关注。但是,在将设置于氮化物半导体装置的氮化物半导体层的栅极电极、源极电极、以及漏极电极分别通过接合线(bonding wire)与氮化物半导体装置的封装的栅极端子、源极端子、以及漏极端子电连接的情况下,由于接合线较细,因此存在难以向氮化物半导体装置供给...
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