技术编号:9203299
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体处理,特别涉及一种感应耦合型等离子体处理装置。背景技术一般地,在感应耦合型等离子体处理装置中,由电介质的窗构成处理容器的壁部的至少一部分,例如顶部,且向设置在该电介质窗外的线圈形状的RF天线供给高频电力。处理容器形成为能够减压的真空腔室,在腔室内的中央部配置有被处理基板,向设置在电介质窗和基板之间的处理空间中导入处理气体。由于RF天线中流有高频电流,所以磁力线贯穿电介质窗在RF天线周围会产生通过腔室内处理空间的高频的交流磁场,由于该交流磁...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。