技术编号：9203617
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线锯，该线锯一边向钢线供给浆料一边压抵半导体晶棒等工件来进行切断；本发明尤其涉及一种钢线切断时的。背景技术以往，作为将半导体晶棒等工件切割成晶圆状的装置，已知有一种线锯。在该线锯中，在多个沟纹辊(溝付? 口一歹；带凹沟滚筒)的周围，通过切断用钢线多次地卷绕而形成钢线列，该切断用钢线在轴向上被高速驱动，且一边适当地供给浆料一边相对于钢线列切入进给工件，由此，该工件在各钢线位置处同时地被切断。此处，图1表示一般的线锯的一例的概要。如图1所示，在线...
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