溅射靶及其制造方法技术资料下载

技术编号:9203904

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在随着对太阳能发电的需求的增大,用于太阳能发电的太阳能电池的开发正在推 进的近几年,一般而言,进行了用于提高在基板上依次配置背面电极层、光吸收层、阻抗缓 冲层、透明导电层而构成的太阳能电池的光吸收层的光吸收能力的各种研宄。 于是,有时会使用熟知的具有广泛覆盖太阳光光谱范围的波长,且光吸收能力高 的CIGS类合金来形成光吸收层,具体而言,能将由Cu、In、Ga、Se等构成的该CIGS类合金 作为溅射靶,对玻璃基板等的基板,通过进行溅射来形成光吸收层。 在用...
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