技术编号：9204363
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 最近，随着电子产品的轻薄小型化的趋势，要求将显示器或晶体管等电子元件制 成高密度、高集成的形式，于是，能够用于电极或金属排线（metallizationlines)的，且能 形成微细金属图案的技术备受瞩目。 迄今广为人知的金属的微细图案的制作技术一般是通过与薄膜的真空沉积相结 合的照相平版印刷工艺实现的。该方法在基材上沉积导电材料之后，为了形成微细图案电 路，在导电材料的表面上涂敷干膜值ryFilm)或感光液后，照射紫外线扣V)进行固化，并 使用显影液进...
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