技术编号:9207003
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 传统的多晶硅生产中,产生的尾气主要包括氢气、氯化氢、氯硅烷,所述氯硅烷包 括二氯二氢硅、三氯氢硅、以及四氯化硅,这些尾气主要依靠尾气回收装置来回收其中的氢 气、氯化氢、以及氯硅烷,其中氢气的回收采用活性炭吸附技术,回收后得到的氢气纯度为 98%左右,当将该回收的氢气用于还原系统中生产多晶硅时,由于该氢气中夹带有少量的氯 化氢及氯硅烷气体,进入还原工序后影响多晶硅的沉积速率及产品质量,目前采用的解决 方法主要是增加吸收剂用量、降低吸附柱使用时间、加大吸附柱...
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