技术编号：9208634
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着现代科学技术的飞速发展，对光滑表面的需求也越来越多，正是由于这种需求的背景带动了精密加工技术的发展。目前为止，最常见的抛光表面加工技术是传统的研磨抛光技术，现在为了适应科技发展及人们对光滑表面的要求，很多国家对传统的抛光技术进行了一系列的改进，但是光电探测器敏感层、声光器件压电换能器等精密光学器件的超精密晶体加工还存在问题，晶体的厚度需要减薄到几十个甚至十几个微米，而且误差要限制在I微米以内，是光学精密加工的一个难题。为了追求降低表面粗糙度或者提高尺寸...
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