技术编号:9210170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一直以来,在半导体制造工序中,大量使用高纯度的氢气作为环境气体。关于这样的氢气,因半导体的集成度的提高而要求杂质的浓度为极低的浓度(PPb水平以下)。另一方面,作为工业大量制造高纯度氢的方法,人们公知如下方法以深冷吸附法、变压法等,将从甲醇、二甲醚、天然气、液化石油气等以水蒸气改质反应而得到的改质气体分离为氢气与氢气以外的气体,从而得到氢。深冷吸附法为如下提纯方法将含氢气体流通于吸附筒以除去氢以外的杂质,该吸附筒中填充了将液氮作为制冷剂而被极低温化后的吸附...
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