技术编号：9214183
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉于冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓气体捕集式真空泵，因此需要定期进行向外部排出已捕捉的气体的再生。专利文献1日本特开2001-123951号公报专利文献2日本特开平2-252982号公报发明内容本发明的一种实施方式的例示性目的之一为在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵，其具备低温板；低温泵容器，容...
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