技术编号:9215717
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于汽车尾气氮氧化物传感器。尤其涉及。背景技术目前车用尾气氮氧化物传感器芯片是由六层氧化锆基片叠合而成,如“气体传感器、氮氧化物传感器和制造气体传感器的方法”(US20090242400)专利技术和“校正氮氧化物传感器输出信号的方法”(US20080237064)专利技术,所述专利技术均由三个电化学氧泵、两个腔室、一个参比空气通道、一个加热电阻、引线和八个引脚构成,三个电化学氧泵分别是主泵、辅助泵和测量泵,主泵在第一腔室,辅助泵和测量泵在第二腔室,第...
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