一种改进的图形化衬底显影方法技术资料下载

技术编号:9216360

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图形化衬底技术通常称为PSS,是Patterned Sapphire Substrate的简称。通常 是通过刻蚀的方法在蓝宝石平面衬底上制作出三棱锥或三棱柱等图形。一方面GaN材料在 PSS衬底上生长时其纵向外延变为横向外延,其结果一方面可以有效减少GaN外延材料的 位错密度,从而减小有源区的非辐射复合,减小反向漏电流,提高LED的寿命;另一方面有 源区发出的光,经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射,改变了全反射光的出射角,增加了光的 出射几率,提高了光的提...
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