技术编号:9218556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对基板实施各种处理的。背景技术以往以来,为了对半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子体显示器用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板等的基板实施各种处理,使用了基板处理装置。有如下批次式基板处理装置将多个基板浸渍在贮留于处理槽的处理液之中并实施蚀刻等处理。例如,在日本特开2009-94455号公报中记载的批次式基板处理装置具备处理槽以及循环管路。在该基板处理装置中,处理槽内贮留有磷酸水溶液,在磷酸水溶液内浸渍形成...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。