技术编号:9218577
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 由低温多晶硅制备而成的OLED显示面板具有超薄、低功耗、自发光等显示优势, 因此,由低温多晶硅LTPS衍生的新一代有机发光二极管OLED显示面板成为当前显示技术 中的重要的技术分支。 目前,影响OLED显示面板性能的最重要因素是低温多晶硅的迀移率,虽然低温多 晶硅相比于非晶硅而言,存在迀移率较大、稳定性较高等优点;但是,对于日益发展的显示 技术行业而言,其迀移率仍不能很好的满足当前的发展需求,因此,需要获取更好的迀移率 的低温多晶硅薄膜。发明内容 本发明...
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