一种硒气压可控的铜铟镓硒薄膜硒化装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9218702

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铜铟镓硒(CIGS)系列薄膜太阳电池以其廉价、高效、高稳定性和抗辐射性等优点 被誉为最有前途的太阳能电池之一。其基本结构是衬底/金属背电极/吸收层/缓冲层 /窗口层/透明电极层/金属栅状电极/减反射层。其中,CIGS吸收层材料的制备是电池 制作过程中最为核心的问题。目前,CIGS吸收层常用金属预置层后硒化法制备,即先采用 真空磁控溅射、加热蒸发或电沉积法在镀Mo的钠钙玻璃衬底上根据化学式配比量沉积Cu、 In、Ga的合金或叠层膜,然后在高温硒气氛下进行退...
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