技术编号：9221221
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。薄基板处理的重要性逐渐提高，举例而言，薄玻璃片具有广泛的应用，用于使用于电子装置中的平板显示器，电子装置例如是移动电话、平板电脑、监视器及电视机。基板可被处理，以用于多种例如微电子工业中的应用，或用于提高电子及光电装置的数目。因此，各种各样的微电子、微技术、微光学、或组合的装置是基于可以合适方式处理的基板。当增加基板的面积时，薄基板的处理尤其困难。然而，对薄基板的处理来说，仍期望高生产率、短停机时间与高产量。发明内容有鉴于上述内容，根据独立权利要求1和7，...
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