缺陷检查方法及缺陷检查装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9221482

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最近,周知有通过使用超声波非接触地检测钢铁材料等的内部缺陷(例如夹杂 物、内部裂纹、氢类缺陷等)的电磁超声波探头。例如,在专利文献1中,记载有具备永久磁 铁和适合于探伤脉冲的形成及反射脉冲的接收的电感线圈的电磁超声波探头(EMAT)。此 外,在专利文献2中,记载有具备用来对被检体施加偏置磁场的磁化器、和用来将超声波向 被检体发送并将由被检体反射的超声波接收的多个传感器线圈的阵列型电磁超声波探头 (EMAT) 〇 现有技术文献 专利文献1 日本特许4842...
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