技术编号:922367
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子元器件领域,具体地,涉及由不等效空间高度的各基元组成的电容式超声传感器。背景技术电容式微加工超声传感器是一种有着广泛用途的静电传感器。超声传感器可以在液体,固体和气体等多种介质里工作。超声传感器已经应用在医药诊断和治疗,无损伤材料测试,声纳,通讯,接近传感器,流量测量,实时工艺控制,超声显微镜等领域里。电容式微加工超声传感器的基本结构是一个固定下电极和活动上电极的平行板电容。活动上电极依附在一个可变形的薄膜上用来传送超声波到临近的介质和从...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。