技术编号:9225251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。碳化硅单晶生长过程中需要冷却水不断地循环带走大量热量。这样在炉腔内就不可避免地凝结一些水分子,在分子泵运行时,这些水分子会随着气路进入机械泵,引起机械泵抽真空能力下降,使用寿命减少。同时,机械泵在运行过程中挥发出油气和其他杂质,在气体传输过程中,这些杂质会进入分子泵和炉腔内,进入分子泵的油分子会严重降低分子泵使用寿命,进入炉腔的杂质会被吸附进生长坩祸内,作为杂质离子降低晶体质量,造成资源浪费。发明内容针对现有技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种用于单...
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