技术编号：9227054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光纤阵列组件是集成光电子器件的关键组成部分，采用直接对接偶合法与光电子 芯片的光路相连接，担负着光信号传输的重任。光纤阵列组件端面是由多种不同材料组成 的异质结构表面，涉及的材料包括V型槽（单晶Si)、光纤（SiO2)、上盖板（硼硅酸盐耐热 玻璃）、UV固化胶等。其中，单晶硅、玻璃均属于难加工的硬脆材料，而且它们的加工性质存 在差异，给精密加工带来较大的困难。目前常采用亚微米级固着磨粒对光纤阵列组件端面 进行抛光，存在亚微米级甚至微米级光纤端面凹陷、光纤...
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