技术编号:9234017
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。离子敏感场效应晶体管(ISFET)设备通常被实施在用于测量溶液中的离子浓度的pH传感器中。当溶液中的离子浓度(诸如H+)改变时,通过ISFET设备的电流将相应地改变。该溶液被用作为由ISFET设备形成的晶体管的栅电极。在深海pH感测的环境中,随着深度而改变的大循环压力可以导致包括ISFET设备管芯的pH传感器封装的变形和婦变(creep)。pH传感器封装的这种机械改变可能变更传感器管芯上的应力并且由于压电电阻(piezoresistance)效应而改变其电...
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